真空热处理的结构：加热炉加热系统（炉膛和加热元件等）、真空系统、淬火系统、工件转移机构等几部分构成。

　　1、外热式真空热处理：将工件放在预抽真空的炉罐中，用外热源加热炉罐，再将炉罐的热量通过辐射加热工件。

　　2、内热式真空热处理：电热元件、隔热屏、炉床和其它构件均安装在真空炉的加热

　　室炉壳内。主要靠电热元件的直接热辐射加热工件。炉壳一般通过双层水套冷却，所以又称冷壁式真空炉。

内热式真空热处理的特点（与外热式真空热处理炉比较）

　　1）因无耐热炉罐,加热温度范围广,可达到1300～2200℃；

　　2）炉子结构复杂造价高,但易实现自动化，工作环境好，操纵安全；

　　3）热惯性小，热效率高，生产效率高；

　　4）炉温均匀好，工件加热变形小；

　　5）加热期间通常不用保护气体，保护气氛消耗少；

　　6）电热元件和隔热屏障等构件在真空高温下放出大量气体，需要配备的真空系统容量大。

3、预抽真空热处理炉：

　　先抽真空再充可控气氛的热处理炉（要求炉壳和炉门的密封性好）。兼有真空炉和气氛炉的优点。节约用气，设备造价低（用气量仅一般气氛炉的1/10，造价是真空炉的1/2～1/3）。可用于光亮退火炉和正火。现可用作渗碳、碳氮共渗和氮碳共渗等。